Ambrell EKOHEAT 15/100 感应加热器用于GaAs wafer 砷化镓晶圆生产

目的:将石墨基座加热到1200℃,用于砷化镓的沉积。通过将石墨基座加热到上述温度并将氦气吹过或吹过接收器,可以沉积砷化镓并形成晶片。该应用在水冷石英管内运行,每分钟泵入40L氦气。加热必须以非常精确、可重复和均匀的方式进行。

材料:直径3“厚1”的石墨基座

温度:1200℃

设备:Ambrell EKOHEAT 15/100,15kw输出固态感应电源,包括1个远程加热站内含四4个电容器,总电容为1.0μF;一个由内径为5 1/2”的1/4”管径铜管制成的4匝螺旋线圈;水冷石英管和一个红外光学高温计。

频率:93 kHz

应用运行取得了如下效果:
*每分钟40L氦气通过直径为4英寸的石英管输送。
*45s内达到1200℃。
*用红外光学高温计观察到均匀的加热模式


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