Ambrell EKOHEAT 15/100 感应加热器在GaAs wafer 砷化镓晶圆生产中的应用

目的:将石墨基座加热到1200℃,用于砷化镓的沉积。通过将石墨基座加热到上述温度并将氦气吹过或吹过接收器,可以沉积砷化镓并形成晶片。该应用在水冷石英管内运行,每分钟泵入40L氦气。加热必须以非常精确、可重复和均匀的方式进行。

材料:直径3“厚1”的石墨基座

温度:1200℃

设备:Ambrell EKOHEAT 15/100,15kw输出固态感应电源,包括1个远程加热站内含四4个电容器,总电容为1.0μF;一个由内径为5 1/2”的1/4”管径铜管制成的4匝螺旋线圈;水冷石英管和一个红外光学高温计。

频率:93 kHz

应用运行取得了如下效果:
*每分钟40L氦气通过直径为4英寸的石英管输送。
*45s内达到1200℃。
*用红外光学高温计观察到均匀的加热模式

世界一流的感应加热系统
EKOHEAT感应加热系统(范围为50-150 kHz)为较小零件的高速加热提供了可靠且可重复的解决方案,其中零件几何形状或线圈尺寸需要高频才能有效加热。 在许多典型应用中,包括钢的热处理,浅层深度硬化以及对钢,铝,铜或黄铜的加热以进行钎焊,热缩配合,固化成型和熔化。
借助多功能的EKOHEAT电源控制系统,您可以快速调整零件的效率,进行精确的加热,0.02%分辨率内的电源控制以及易于使用,易于阅读的前面板。远程控制是通过0-10V,4-20mA输入,RS485串行端口,24V控制,Modbus和远程E-Stop输入完成的,因此可以轻松地与自动化生产线集成。
与燃气和电阻加热技术相比,EKOHEAT技术可通过减少能耗来提高投资回报率。 无焰非接触感应加热通过仅将能量集中在要加热的零件和区域上,从而将能量浪费最小化。 凭借非常高效的功率转换和大于0.9的功率因数,您的公用事业需求费用得以减少,从而降低了每月的电费。
EKOHEAT系统专为有效利用冷却水而设计,可进一步降低您的运营成本。这是水冷系统,需要连接到热交换器或其他散热手段。

通用
?有效加热多种几何形状,尺寸和成分的零件
-多个电容器配置
-多抽头变压器配置
?可重复可靠的加热,灵活的频率调整
?活动工作头,长达30米
?亚秒级到连续周期时间
?通过RS485端口进行远程操作或记录
?匹配国际交流电压
操作简单
?用户友好的前面板控件
?周期计时器,高峰和短周期数据捕获
?10个十步加热曲线
?耐过载的输出管理
?五种语言显示
?系统诊断显示在前面板上

Ambrell简介
Ambrell公司成立于1986年,是感应加热市场的全球先进供应商,以我们的应用和工程专业知识而闻名。 卓越的产品质量和出色的服务与支持是我们承诺提供行业客户体验的核心。
我们的总部位于美国,业务遍及欧洲,包括英国和荷兰。 所有产品均在我们位于美国的制造工厂进行设计和制造,该工厂已通过ISO 9001认证。 在过去的三十年中,我们已经通过广泛的OEM和分销网络扩展了全球影响力,如今,我们已在50多个国家/地区安装了15,000多个系统。


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