Ambrell高频感应电源助力MOCVD加快Micro LED商用化

Micro LED是一种新兴的显示技术,与传统液晶屏幕和OLED相比具有诸多优势。Micro LED其实就是将LED的发光单元进行薄膜化、微小化和阵列化,从而让每个单元小于100微米,与OLED一样能够实现每个图元单独定址和单独驱动发光(也就是我们常说的自发光)。

作为一种新兴的显示技术,Micro LED与OLED比较类似,但它比OLED屏幕寿命更长,同时响应速度可以达到奈秒级别,比OLED更快。不仅如此,Micro LED还具有高亮度、低耗电、超高分辨率等诸多优势,综合来看比OLED更具优势。

关于Micro LED的应用,TV显示面板将会是首先打开市场的商业化产品。其次,车用显示也是未来Micro LED比较大的应用市场。随着客户要求提高,升级车内显示的需求逐渐增多,如车内外信息的动态显示以及营造氛围增加人车互动等。其他应用市场包括智能手机、AR/VR、可穿戴式设备等。

1、Micro LED制程关键核心设备MOCVD

Micro LED的商用化,制程中的每个息息相关的环节都很重要,例如LED外延片制造的关键核心设备MOCVD。MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。

因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质,并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此在MOCVD系统的设计思想上,通常要考虑系统密封性,流量、温度控制要精确,组分变换要迅速,系统要紧凑等。不同厂家和研究者所产生或组装的MOCVD设备是不同的。一般由 源供给系统 、气体输运和流量控制系统、反应室及温度控制系统、尾气处理及安全防护报警系统、自动操作及电控系统。

反应室是由石英管和石墨基座组成。为了生长组分均匀、超薄层、异质结构的化合物半导体材料,各生产厂家和研究者在反应室结构的设计上下了很大功夫,设计出了不同结构的反应室。石墨基座是由高纯石墨制成,并包裹SIC层。加热多采用高频感应加热,少数是辐射加热。由热电偶和温度控制器来控制温度,一般温度控制精度可达到0.2℃或更低。

2、Ambrell高频感应加热电源

感应技术是一种快速,清洁,无焰的加热导电材料的方法。 它通过电磁方式产生所需的热量,为晶体生长提供高度可控的环境。 交流电流流过围绕坩埚的感应线圈。 涡流在坩埚的电阻率内和逆着坩埚流动产生热量。 虽然线圈本身永远不会变热,但是工件会以无与伦比的均匀性加热。

Ambrell的先进感应加热功能可使您的晶体生长和晶圆制造过程更加可靠,精确且经济高效。我们的EKOHEAT产品专为半导体应用而设计; 它们比电阻加热更均匀,更有效地加热坩埚或晶圆压板,我们的非接触式电磁加热技术可降低能耗,提高生产率并提供高质量的半导体产品。通过Ambrell,真正的最终产品具有更大的盈利潜力。

未来,Ambrell将继续投入技术研发工作,助力Micro LED的商用化。


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