目标
将碳石墨感应体加热至1200°C，用于砷化镓的沉积。通过将碳石墨加热到上述温度，并在感应体上吹过氦气，可以沉积砷化镓并形成晶圆。该应用在水冷石英管内进行，每分钟通过40升氦气。加热过程必须非常精确、可重复且均匀。
材料
直径为3英寸、厚度为1英寸的碳石墨感应体。
温度
1200°C
应用
通过使用Ambrell 15 kW输出功率的固态感应电源、水冷石英管、氦气和一个四匝螺旋线圈，取得了以下结果：
– 每分钟通过4英寸直径的石英管输送40升氦气。
– 在45秒内达到1200°C。
– 使用红外光学高温计观察到均匀的加热模式。
设备
Ambrell 15 kW输出功率的固态感应电源，包括一个远程加热站，其中包含四个电容器，总容量为1.0 µF；一个由1/4英寸铜管制成、内径为5 1/2英寸的四匝螺旋线圈；以及一个红外光学高温计。
频率
93 kHz
