美国Ambrell EKOHEAT感应加热系统在半导体晶体生长,晶圆制造中的应用-石墨坩埚加热
来自新能源效率行业的日益增长的需求为半导体供应商提供了巨大的机会。然而,在加速增长的过程中存在着紧迫的挑战。生产半导体工业原料、晶圆和成品。这些过程需要精确控制在制造原料或晶体的过程中加热或是在最终的半导体产品中。让我们提供解决你的紧迫挑战的方法半导体制造工艺.
Ambrell先进的感应加热可以使你的晶体生长和晶圆制造工艺更可靠、更精确成本效益高。我们的电热产品是专门设计的半导体应用;他们加热熔炉或晶圆比电阻加热更均匀更有效率,Ambrell的非接触式电磁加热技术使用能源,提高生产力,提供优质服务半导体产品.
EKOHEAT解决方案为您提供晶体生长系统操作员精确控制您的加热过程,并允许精确调节熔体温度。 我们干净精确的方法来改变大气支持高质量晶体的生长。 依考特设计意味着输出功率通过AC严格调节线路电压从360到520V,而输出控制为从2%调整到100%的力量–控制期间的温度加热和冷却以确保可以利用更多的Boule。精确,频率捷变调音可提供精确的所需的功率等级波动下的最佳质量负载条件,以及准确地调整过程或设置变化。
EKOHEAT感应加热系统的核心优势是平稳快速地融入您的能力当前的生产过程。 我们的系统易于定制满足您的业务要求-它们具备自动化功能,完整的模拟和数字I / O面板。 他们提供了一个小和最小的占用空间以及外部工作台(如果有)您的过程是远程的。 内置110或220 Vac便利插座可容纳您的手术器械。 在简而言之,我们的解决方案的安装使停机时间或修改时间最少到您现有的设置-我们将帮助您启动并运行通过新的更有效的加热过程迅速完成。