MeX
From SEM to optical 3D surface measuring system
从扫描电镜到光学三维表面测量系统
MeX turns any SEM into a optical 3D measuring system
MeX将任何扫描电子显微镜（SEM）转化为光学3D测量系统
MeX是一个独立的软件包，将任何带有数字成像的SEM转变为真正的表面计量设备。利用立体图像，该软件自动获取3D信息，并呈现高度精确、稳健且密集的3D数据集，用于执行可追溯的计量检查。
无论SEM放大倍数如何，都可以获得结果，实现宏观和微观水平的计量。运行MeX无需额外的硬件，可以与任何SEM一起使用。
由于独特的自动校准例程，校准数据会自动精细调整。因此，只有MeX能够在SEM的任何放大倍数下实现可追溯的3D测量。
特征：
高度和粗糙度测量
轮廓测量可实现样品的虚拟切割。用户在光学图像上定义路径，并接收相应的3D轮廓。粗糙度和轮廓测量符合公认的国际EN ISO标准，如4287/4288。轮廓分析还允许拟合诸如圆、角等图元。
体积分析
体积分析计算空隙和突起的体积。测量区域直接定义在光学图像上。在肥皂膜模型的整个计算过程中确定体积。对于选定区域的3Dboundary，MeX会计算一个行为类似肥皂膜的覆盖表面。
面积测量
面积分析可确定表面上的Sa、Sq和Sz。参数如粗糙度，波纹度和分形维数的用户定义的曲面片实现。MeX自动计算ISO一致性分析。对于表面的视觉表示，可以使用灰度或伪彩色深度图。也可以显示等值线来突出深度变化。
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