美国API ADVANCED PHOTONICS气体净化器准分子激光气体净化器C-2000
API 是以下工艺技术开发领域的全球领导者 用于高级气体净化产品。API 净化器满足 满足各种高科技行业的苛刻要求。 无论需求是超高纯度工艺气体、高能量 激光或稀有和特种气体应用，都有合适的 API 产品提供必要的吞吐量和效率，以满足 应用程序的需求。
用于准分子激光器的 API 气体净化器提高了激光器的性能 延长激光机维修间隔。腐蚀性杂质 选择性地去除由激光作用产生的气体以保持纯度 在混合气体中。请求 API 技术简报第 118 号。产品包括 可满足不同类型准分子激光系统的需求
适用于ArF和氟激光应用
适用于在 ArF 和 F 上工作的激光器2、LN2冷却型 C-2000 经济、易于使用且高度可靠。 C-2000 还易于安装、作和维修。 自动 LN2可以添加重新填充作为额外选项。 C-2000 还可以作为 API C-6000 型净化器进行改装，用于多气体作。
| 颗粒过滤 | < 0.1 微米;> 99.95% 的留存率 |
| 工作温度 | 77° K. |
| 气体循环流量 | 30 标准升/分钟 |
| 气体压力范围 | 1 至 5 巴（绝对压力） |
| 净液氮容量 | 14 升 |
| 尺寸 | 22 英寸（高）x 19 英寸（宽）x 22 英寸（深） |
