美国API ADVANCED PHOTONICS气体处理系统, DHF-200 一次性卤素废气过滤器
一次性卤素废气过滤器
DHF-200 专为高容量和低成本而设计。这 DHF-200 吸收介质可完全去除卤素和酸 来自流出气流的气体。过滤器很容易 耗尽时丢弃。技术性能信息和 可根据要求提供认证报告。
去除效率 | < 0.1 页/分钟 |
压力等级 | 100 P.S.I.G. |
流量容量 | 75 SLM(激光混合) |
标准管道 | 3/8“ 世伟洛克 |
尺寸 (包括配件) | 外径 23 1/2 英寸 x 3 英寸 |
化学计量确定 的过程能力 | 900 CF 载气 (0.2% 卤素浓度) |