美国API ADVANCED PHOTONICS气体净化器型号 C-6000 – 用于多气体准分子激光器
用于准分子激光器的 API 气体净化器提高了激光器的性能 延长激光机维修间隔。腐蚀性杂质 选择性地去除由激光作用产生的气体以保持纯度 在混合气体中。请求 API 技术简报第 118 号。产品包括 可满足不同类型准分子激光系统的需求。
用于多气体准分子激光器
C-6000 与所有准分子激光器和激光气体类型兼容 具有自动控制和易于更换气体的功能。C-6000 系列 提供卓越的性能结果。C-6000 可以是 针对特殊应用进行配置，例如高压范围 和高流速要求。自动 LN2可以添加重新填充作为额外选项。
| 颗粒过滤 | < 0.1 微米;> 99.95% 的留存率 |
| 工作温度 | 77° K 至 150° K。 |
| 气体循环流量 | 30 标准升/分钟 |
| 气体压力范围 | 1 至 5 巴（绝对压力） |
| 净液氮容量 | 13.6升 |
| 尺寸 | 22 英寸（高）x 19 英寸（宽）x 22 英寸（深） |
