美国API C-6000准分子激光气体净化器、ADVANCED PHOTONICS 准分子激光器气体净化装置、进口代理ADVANCED PHOTONICS
API C-6000准分子激光气体净化器
API C-6000 Excimer Laser Gas Purifiers
用于多气体准分子激光器的情况
C-6000可与所有类型的准分子激光器和激光气体配合使用。它具有自动控制功能,且更换气体也非常方便。C-6000能够提供出色的性能表现。此外,它还可以根据特殊应用需求进行定制,比如满足高压环境或高流量要求。另外,还可以选择添加自动补充LN2气体的功能。
API C-6000准分子激光气体净化器规格参数
| 颗粒过滤 | < 0.1微米;过滤效率高达99.95% |
| 工作温度 | 77开尔文到150开尔文。 |
| 气体循环流量 | 30标准升/分钟 |
| 气体压力范围 | 1到5巴(绝对压力) |
| 净液态氮储量 | 13.6升 |
| 尺寸/规格 | 22英寸高 x 19英寸宽 x 22英寸深 |
