美国API C-6000准分子激光气体净化器,ADVANCED PHOTONICS 准分子激光器气体净化装置,进口代理ADVANCED PHOTONICS

美国API C-6000准分子激光气体净化器ADVANCED PHOTONICS 准分子激光器气体净化装置进口代理ADVANCED PHOTONICS

API C-6000准分子激光气体净化器

API C-6000 Excimer Laser Gas Purifiers

用于多气体准分子激光器的情况

C-6000可与所有类型的准分子激光器和激光气体配合使用。它具有自动控制功能,且更换气体也非常方便。C-6000能够提供出色的性能表现。此外,它还可以根据特殊应用需求进行定制,比如满足高压环境或高流量要求。另外,还可以选择添加自动补充LN2气体的功能。

API C-6000准分子激光气体净化器规格参数

颗粒过滤< 0.1微米;过滤效率高达99.95%
工作温度77开尔文到150开尔文。
气体循环流量30标准升/分钟
气体压力范围1到5巴(绝对压力)
净液态氮储量13.6升
尺寸/规格22英寸高 x 19英寸宽 x 22英寸深


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