美国API C-2000准分子激光气体净化器、ADVANCED PHOTONICS 准分子激光器气体净化装置、进口代理ADVANCED PHOTONICS
API C-2000准分子激光气体净化器
API C-2000 Excimer Laser Gas Purifiers
对于使用ArF和F2激光器的设备来说，LN2型C-2000制冷装置具有成本效益高、使用方便且可靠性极佳的特点。此外，C-2000的安装、操作和维护也十分简单。用户还可以选择添加自动LN2补充系统作为附加功能。另外，C-2000还可以通过改装，使其能够适应多种气体的使用需求，此时它就变成了API型号为C-6000的净化装置。
API C-2000准分子激光气体净化器规格参数
| 颗粒过滤 | 小于0.1微米；过滤效率高达99.95% |
| 工作温度 | 77开尔文。 |
| 气体循环流量 | 30标准升/分钟 |
| 气体压力范围 | 1到5巴（绝对压力） |
| 净液态氮储存能力 | 14升 |
| 尺寸/规格 | 22英寸高 x 19英寸宽 x 22英寸深 |
