美国ARC氙汞灯
先进辐射公司用于光刻技术的深紫外线（DUV）短弧灯系列代表了短波长紫外线光刻胶曝光高强度光源在设计、制造和性能方面的最先进水平。
深紫外辐射由汞氙等离子体产生。在灯管制造过程中，必须仔细控制等离子体成分的确切浓度和比例，以获得最大的输入功率和输出辐射转换率。本文介绍的八种紫外灯是美国领先的紫外照射设备和系统制造商历时三年多的研发成果。
这些灯管非常适合多种 DUV 光阻配方。PMMA 的灵敏度为 210 至 260 纳米；200 至 330 纳米；AZ2400 系列的灵敏度为 240 至 310 纳米；而 ODVR 系列的灵敏度为 200 至 315 纳米。
该类产品：
DUV-350
DUV-500
DUV-1000
DUV-2000
DUV-350-30118
DUV-500-30036
DUV-500-30055
DUV-500-30056
