美国ARC汞灯
先进辐射公司用于光刻技术的直流汞短弧灯系列代表了高强度紫外辐射源在设计、制造和性能方面的最先进水平。
这些灯管可提供与大多数现有光刻胶材料的光敏性相对应的高强度辐射。这些灯管能满足电弧稳定性和可靠长寿命的要求，是当今尖端电子工业中集成电路经济制造所必需的。
短弧灯的点光源配置使该系列灯非常适合光化学、荧光显微镜、微电影放大、光学仪器和其他需要高强度紫外线辐射的应用。
此类别中的产品：
100 瓦汞短弧灯
200 瓦汞短弧灯
350 瓦短弧灯
500 瓦短弧灯
ARC的一系列用于光刻的深紫外（DUV）短弧灯代表了用于短波长紫外光刻胶曝光的高强度光源的设计、制造和性能的最新水平。
深紫外辐射是由汞氙等离子体产生的。在灯的制造过程中，必须仔细控制等离子体成分的准确浓度和比例，以获得最大的输入功率与输出辐射转换。这里描述的八个DUV灯代表了美国领先的DUV曝光设备和系统制造商三年多的研发成果。
这些灯非常适合几种DUV光刻胶配方。聚甲基丙烯酸甲酯在210-260nm范围内敏感；从200到330nm；AZ2400系列，从240到310nm；而ODVR系列的灵敏度在200到315纳米之间。
