德国AMMT Single EC晶圆支架专为需要电接触晶圆背面的单面蚀刻工艺而设计。
德国AMMT Single EC晶圆支架 在MEMS行业和研究中使用了15年多，已经赢得多名用户对其可靠性和工程质量的信任。Single EC晶圆支架 配备了两个镀金弹簧电触点，用于硅的电化学蚀刻。
Single EC晶圆支架 由双精度O型圈系统密封，将晶片上的机械应力降至最低。前侧的盖环将晶圆固定到位。由于客户特定的晶圆厚度被加工成盖环中的凹槽，因此可以使用普通扳手拧紧所有螺钉，而不会对施加的扭矩敏感。这确保了对易碎晶片的机械应力最小。
Single EC晶圆支架 可用于3英寸、4英寸、5英寸、6英寸和8英寸晶圆。请咨询其他晶圆尺寸或单个外形尺寸。
订购Single EC晶圆支架时，需要指定加工成盖环凹槽的晶片厚度。晶圆支架允许厚度为+/-80µm的晶圆在指定的目标厚度附近。如果需要更大的灵活性，可以订购带有不同凹槽的额外盖环。
此外，晶片和支架主体之间的体积通过通风管连接到环境大气中，以避免温度变化引起的压力。
常规的Single EC晶圆支架专为需要与晶片背面电接触的单面蚀刻工艺而设计，例如电化学蚀刻停止工艺或多孔硅成型。因此，它配备了两个镀金、弹簧安装的电触点，可根据用户要求放置。为了保持较低的维护成本，所有O型圈的尺寸都符合美国AS-568标准。
