AMMT的螺丝拧紧晶片夹持器(也称为晶片卡盘)为几乎任何MEMS应用提供了解决方案。除了4英寸和6英寸的标准尺寸外,大多数晶片夹持器还可用于3英寸、5英寸、8英寸的方形芯片,甚至四分之一片完整晶圆的测试。
Tandem系列的一个独特之处是其对称设计,允许在每个晶片夹持器中安装两个晶片。这降低了设备成本,并允许更高的吞吐量,特别是在小型蚀刻浴中。串联支架有普通支架、带集成接触引脚的EC型号用于电化学蚀刻停止技术,以及带接触引脚和背面照明的IL/OW类型用于光学控制。
此外,Single OW是一个单晶圆支架/晶圆卡盘,在制造过程中具有透明的检查后盖。
所有晶片卡盘都是基于化学性质极其稳定的聚合物进行精确加工的。双O型圈密封确保对晶片的可靠保护,弹簧加载的镀金接触引脚允许蚀刻停止过程的背面接触。