德国AMMT 微型恒电位仪 Model MC——从实验室到工业的灵活解决方案。
虽然我们的MEMS恒电位仪 Model SC主要专注于研发目的，但德国AMMT也为小到大规模生产MEMS器件提供了解决方案。我们的MC型多通道恒电位仪包含四个、八个、12个或16个独立的恒电位系统。由于每个子系统都是完全电绝缘的，因此可以在同一各向异性蚀刻浴中同时独立蚀刻多达16个晶片。因此，可以确保最佳利用KOH或TMAH设备，同时节省公司的财务和个人资源。
德国AMMT MC型多通道恒电位仪设计为行业标准的19英寸机架，可顺利集成到现有的洁净室环境中。由于每个恒电位仪单元都有自己的混合连接器，可以容纳相应蚀刻卡盘所需的所有信号和电源线，因此设置系统很容易。
我们的图形控制软件包MPC是MC型恒电位仪的适配多通道版本。该程序不仅控制多达16个恒电位仪，还为蚀刻停止操作员提供面向生产的软件前端。
AMMT还提供集成在任何自动湿式工作台上的MC型恒电位仪。
