德国AMMT 波序电源μGALVANO,主要应用于MEMS技术和晶圆电镀

德国AMMT 波序电源μGALVANO

μGalvano是一种新型的波序电源,专用于MEMS技术和晶片电镀中的电镀应用。与标准整流器不同,该设备提供各种功能,如恒流、脉冲/暂停电流、脉冲和反向脉冲电流输出以及三角形、斜坡和正弦形状。
μGalvano目前有两种配置,最大输出电流为10安培或1安培。
μGalvano基于微控制器的web服务器,可以方便地由任何类型的web浏览器控制。此外,μGalvano还可以通过TCP/IP套接字连接由任何PLC控制。

μGALVANO 波序电源