德国AMMT 晶片支架Single IL，用于单面蚀刻的晶片支架，带有内部照明

德国AMMT 晶片支架Single IL

德国AMMT 晶片支架Single IL是用于单面蚀刻的晶片支架，带有内部照明。
德国AMMT 晶片支架Single IL的一个独特之处是集成卤素灯或LED阵列，用于薄膜厚度的光学检测。约22µm及以下的硅膜具有透光性，根据其厚度呈现不同深浅的棕色。背面照明功能是克服基于时间的蚀刻停止技术的一些缺点的有用工具。

SingleIL 晶圆夹持器