德国AMMT 晶圆架 Single EP，带有背面保护的单个晶圆的晶圆架。
德国AMMT 晶圆架 Single EP专为晶圆电镀应用而设计。德国AMMT 晶圆架 Single EP接触晶片的正面，同时保护其背面。Single EP晶片支架在MEMS行业和研究中已经使用了15年多。
晶片由双精度O型圈系统密封，将晶片上的机械应力降至最低。背面的盖子将晶片固定在适当的位置，由六个螺钉固定。由于客户特定的晶圆厚度被加工成盖子中的凹槽，因此可以使用普通扳手拧紧所有螺钉，而不会对施加的扭矩敏感。这确保了易碎晶片上的最小机械应力。
Single EP晶片支架配备了镀金的弹簧式电触点，放置在晶圆架主体的边缘，与晶圆的前侧接触。触点位于两个O形密封圈之间，因此位于干燥边缘区域内。
为了提供电镀电流，AMMT的电镀支架在晶片的边缘区域周围嵌入了一个圆形不锈钢环。该区域由一组电解质兼容的O型环密封件保持干燥。通过四个或更多弹簧加载的金接触引脚实现与晶片的电接触。
德国AMMT 晶圆架 Single EP系列可用于2英寸、3英寸、4英寸（100毫米）、5英寸、6英寸（150毫米）、8英寸（200毫米）、300毫米晶圆，以及客户特定的样品和芯片。
