德国AMMT 晶圆夹持固定装置专为不需要电接触的单面蚀刻工艺而设计（例如基于时间的蚀刻、氧化物或氮化物层上的蚀刻停止、SOI晶圆、玻璃和石英晶圆等）
德国AMMT 晶圆夹持固定装置在MEMS行业和研究中已经使用了15年多，并使100多名用户相信其可靠性和工程质量。晶片由双精度O型圈系统密封，将晶片上的机械应力降至最低。前侧的盖环将晶圆固定到位。
由于客户特定的晶圆厚度被加工成盖环中的凹槽，因此可以使用普通扳手拧紧所有螺钉，而不会对施加的扭矩敏感。这确保了对易碎晶片的机械应力最小。
德国AMMT 晶圆夹持固定装置可用于3英寸、4英寸、5英寸、6英寸和8英寸晶圆。
所有晶圆夹持器 均完全由PEEK制成，以避免金属部件造成蚀刻剂污染的风险。它们适用于扩展温度范围内的几乎所有蚀刻剂（KOH、TMAH、HF、H3PO4等）。
晶片由双精度O型圈系统密封，将晶片上的机械应力降至最低。前侧的盖环通过六个螺钉将晶片固定到位。
订购AMMT晶圆夹持器时，需要指定加工成盖环凹槽的晶片厚度。支架允许厚度为+/-80um的晶圆在指定的目标厚度附近。如果需要更大的灵活性，可以订购带有不同凹槽的额外盖环。
此外，晶片和保持器主体之间的体积通过通风管连接到环境大气，以避免温度变化引起的压力。
常规Single系列专为不需要电接触的单面蚀刻工艺而设计，例如基于时间的蚀刻、氧化物或氮化物层上的蚀刻停止、SOI晶片、HF中的玻璃/石英蚀刻等。
为了保持低维护成本，所有O型圈的尺寸都符合美国AS-568标准。
