德国AMMT 恒电位仪Model SC,MEMS恒电位仪,用于电化学蚀刻停止过程的专用恒电位仪

德国AMMT 恒电位仪Model SC

德国AMMT 恒电位仪Model SC是用于电化学蚀刻停止过程的专用恒电位仪
德国AMMT 恒电位仪Model SC是专门为硅微加工中的电化学蚀刻停止技术而设计的。许多微机电系统(MEMS)的制造取决于该处理步骤的可靠且易于使用的电位控制器。MEMS恒电位仪满足这两种需求。首先,高度集成和使用功能强大的微控制器证明了该系统的技术标准。极低噪声运算放大器、精密电压基准和高精度A/D和D/A转换器保证了蚀刻停止过程的出色再现性。所有输出均具有短路保护,如果过载,将关闭装置。Model SC 恒电位仪检测常见的错误情况,如晶片或电缆断裂,并向操作员发出警报,提供错误描述。

Model SC 恒电位仪配有适用于Microsoft Windows XP/7/8的专用软件,用户可以控制所有恒电位仪设置。在这种情况下,计算机会记录所有数据,将其显示在屏幕上,并将其保存到磁盘以供以后使用。

Model SC 恒电位仪主要特征:
输出电压范围为-10 V至10 V
四电极配置的补充电压输出(电压范围0V至10V)
输出电流高达750mA
所有输出均具有短路保护和热关闭功能
自动量程电流电压转换器
字母数字状态显示(电流和电压)
通过串行端口(RS-232兼容)、USB 2.0和以太网进行计算机控制
适用于Microsoft Windows 7/8的专用软件
紧凑型设计
错误检测(晶片断裂、电缆断裂、电流过载)
电流峰值检测算法
完全光隔离的计算机接口允许在单个蚀刻剂浴中独立并行处理

Model SC 恒电位仪


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