Idonus Sarl UV LED exposure system UV LED曝光系统 [P09

Idonus Sarl UV LED exposure system UV LED曝光系统 [P0904-42] UV-EXP150R

Mechanical clamping for small size samples Ring with 4 clamps

Mechanical clamping ring for 100mm wafer

size: 100mm

Performances:

- Wavelength: 365 nm (others on request)

- Exposure area: Dia 150 mm

- Collimation angle: < +/- 1.9°

- Uniformity: Michelson contrast, C = (max-min)/(max+min) < 3%

- Irradiance (optical power density): typically 50 mW/cm² (adjustable 10% to 100%)

- Working distance: 350mm

- Cooling type: heat pipe (= air fan)

- Size: ~25x25x58 cm

Idonus Sarl UV LED exposure system UV LED曝光系统 [P0904-42] UV-EXP150R

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