瑞士idonus 红外晶圆检测显微镜（IR-M）

硅晶圆是集成电路（IC）和微机电系统（MEMS）制造中使用的重要组件。能够在红外（IR）范围内透视这种半导体材料，对于制造过程的质量控制非常有利。 idonus红外晶圆检测显微镜（IR-M）配备了长工作距离物镜。三档变焦功能允许用户选择合适的视场和放大倍率。红外敏感摄像头通过USB 3.0通信将被检测样品的图像显示在计算机上。使用5倍物镜时，分辨率优于3微米。此外，还提供顶部照明功能。这使得显微镜可以在常规模式下使用，并检查晶圆的顶部。红外显微镜配有一个xy工作台，可容纳直径200毫米（8英寸）或更小的晶圆。可选地，xy工作台可以配备电机驱动，以便通过图形用户界面（GUI）和/或操纵杆方便地控制。

应用领域 idonus IR-M在半导体和MEMS器件检测中有多种应用，例如：

通过透射成像观察硅晶圆（例如，微结构晶圆）
检查太阳能电池的功率效率

以下图像是使用IR-M成像显微镜拍摄的。它们显示了微结构的硅绝缘体上硅（SOI）晶圆。第一张图像是使用顶部照明（可见光谱）拍摄的传统显微镜图像。第二张图像是在红外光照（IR透射模式）下拍摄的，展示了基层与器件层之间的埋藏二氧化硅（SiO2）。

关于idonus

idonus sàrl公司于2004年由瑞士纳沙泰尔大学微工程研究所（IMT）成立为一家初创公司（现为瑞士洛桑联邦理工学院IEM电气与微工程研究所的一部分）。 idonus专注于为MEMS和制表行业开发和制造特殊设备。公司位于瑞士钟表谷的核心地带，在这里，精密微加工与不断增长的微技术和纳米技术企业集群相融合。其总部位于瑞士纳沙泰尔的Hauterive的Innoparc。 产品与解决方案 产品 — 我们的产品组合包括用于光刻的UV-LED曝光系统（UV-EXP）、用于晶圆检测的红外显微镜（IR-M），以及用于硅基器件的气相化学蚀刻仪（VPE）。自2016年以来，我们还提供用于材料表面处理的离子注入服务和设备。解决方案 — idonus的优势之一在于能够根据每位客户的需求定制其产品。公司的垂直整合使快速原型设计成为可能，从而为客户带来较短的交货周期。