美国Thermionics HCR系列旋转电子枪蒸发源

HCR系列旋转电子枪 HCR系列旋转电子枪是一种全金属密封的电子枪，有3到8个坩埚版本，最多可连续沉积8种以上的材料。标准安装在外径为12英寸的CF法兰上，包括自动分度器和所有机械和电气连接。 HCR系列旋转电子枪主要特征： 可提供3至8个坩埚 270°光束偏转多坩埚，旋转设计可互换坩埚组件长寿命发射器组件易于更换灯丝永磁梁定位整体式扫掠线圈提供底部或侧面驱动

HCR系列旋转电子枪技术参数：

Feature	Specifications
最大功率	10 kW
发射电压	-6 to -10 kV
发射电流	0 to 1 A
灯丝	700 W
电子束偏转	270°
光束光斑尺寸	.25″ diameter, tight beam
蒸发率	1 gram/min @ 10 kW 36,000 Å/min Al @ 10″ (250 mm) source-to-substrate distance
X and Y 扫描	Longitudinal and lateral control up to 200 Hz when operated with Thermionics sweep controller
水	3 gpm, 20°C, 50 psi pressure differential
坩埚材质	OFE copper
烘烤温度	120°C (250°F)

HCR系列旋转电子枪安装配置每个e-Gun 都有三种标准安装配置： e-Gun™安装在PyraFlat或ConFlat金属密封型法兰上，该法兰使用标准OFE铜垫片 e-Gun™配备直径为1英寸的螺栓式安装座，通过直径为1”的孔安装，并由压缩O型圈密封 e-Gun™单独使用，无安装法兰请在下单时指定安装配置；成本可能不包括螺栓式或法兰式安装。其他安装法兰、配置和几何形状是常规供应的，请致电上海皕赫。