美国Angstrom Sciences, 磁体映射套件

磁体映射套件提供了一种测量磁控管磁场并将其与磁体阵列的原始分布图进行比较的方法。 可以提供磁成像套件，使用户能够测量磁控管的场强，并确定磁体阵列是否有足够的损坏或退化以保证更换。 随着磁控溅射阴极中的磁场减弱，工作电压和最低工作压力将增加，从而对薄膜质量和均匀性产生负面影响。 拥有磁性诊断工具将允许用户确定过程偏移是由于磁控管还是其他原因引起的。 磁成像套件由分布验证板、高斯计和探头组成。映射板设计为适合溅射阴极，并钻有沉头孔，以便可以在目标表面获取读数。这允许一致的放置，并且读数可以与每个 Angstrom Sciences 磁控溅射阴极提供的原始磁图进行比较。