光束通量监测器 MBE 应用 光束等效压力 BEP

光束通量监测器可以测量 MBE 应用中的光束等效压力 （BEP）。 它通常安装在线性移位/ z级上，以允许灯丝靠近基板定位，并在处于待机位置时包括保护罩。 读数和完全控制（设备状态，Z轴移位）由专用软件应用程序和Ion多仪表控制器提供。应用程序可以与Synthesium集成 - 先进的沉积软件工具。3 技术数据

安装法兰 DN 63CF（不可旋转）
测量系统 贝亚德-阿尔珀特离子计
测量范围 10-3至 2×10-11托
线性行程 150 mm （其他应要求提供）
最大外径 63 毫米
灯丝 双丝，钇涂层铱
控制器 3 通道 MG15 – 通信接口：RS232/485、以太网、PROFINET（选件 – 按订单指定）
烘烤温度 最高 200 °C
特征： 选项：

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