RIGAKU Rigaku Total Reflection X-ray Fluorescence Spectrometer 3760 理学X射线全反射荧光分析仪
For SMIF Loader Loading method
SMIF Loader 样品载入方式
包含如下：
1, 1套，TXRF 3760 Main， with: SDD, X-ray generator, 3 beam monochrometer, SEMI S2 compliance, Export Packing( 主机配置包含 固态侦检器,X射线发生装置, 3 光源分光装置, 符合SEMI S2的相关设什及出口包装)
2，1套，Control Computer with dual harddisk and pre-configured at RAID 1 mode(控制计算机,带双硬盘并运行在RAID1实时备份模式)
3，1套，Signal tower (Rigaku spec)(机台状态指示灯)
4, 1套，Dry pump for sample chamber (Ebara EV-S20 1670L/min)(干泵for 样品腔)
5，1套，Dry pump for X-ray source (Ebara EV-S20 1670L/min) （干泵 for X射线源腔）
6，1套，Power distribution box(电源分配箱)
7, 1套，Heat exchanger (Sanei TCW12CBN-D)（热交换器）
8, 1套，Standard sample 200mm (Al, Ni, Mo mixed, 5E13 atom/cm2) （8英寸标准样片，含混合铝，镍，钼元素，浓度为5E13 atom2/cm2)
9，1套， SECS/GEM (for 200mm fab) (SECS/GEM 自动化控制软件供8吋硅片厂用，Rigaku标准版）
10, 1套，Sweeping-TXRF (TXRF 快速扫描分析功能)
11，1套， ZEE-TXRF (TXRF硅片边缘分析功能)
12， 1套，Link Analysis with KLA-Tencor (PI-Link)(支持KLA-Tencor 座标分析）
13， 1套，Enhanced diffraction avoidance function (增强避免衍射效应功能）
14, 1套，Spare Target （备用旋转钯材）
15， 1套，Spare Filament (3pcs/SET) (备用灯丝,3个/组)
16， 1套，Spare Water Filter (备用过滤器)
17， 1套， Spare Ion Exchanger Resin(备用离子交换树脂)
18， 1套，SMIF Loader（Brooks (ASYST) LPT2200) and Accessories (including Minienvironment with FFU)(SMIF 载入端口(Brooks (ASYST LPT2200)) 和相关配套附件 (带微环境和超洁净过滤器)
19， 2套，Operation Manual (English, Dustless Paper) per SET (操作手册(英文版,无尘纸版) )
20， 1套，Operation Manual (CD) per SET(操作手册( 光盘版)
21， 1套，Mylar Template (机台定位图纸)
22， 1套，Anti Earthquake Brackets (防震固定脚)
23， 1套，Weight Distribution Foot Panels （重量分配板）
24， 1套，Installation Fee for 2 Weeks at User Site (安装调试费用)
25， 1套， SECS/GEM On Line Test (3 days) (现场自动化测试费用)
26， 1套，On Site Application Training (3 days) (现场应用培训费用)
27， 1套，1 Year Warranty (1年质保费用）
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