Idonus Sarl Wet Processing Wafer Chuck

Idonus Sarl Wet Processing Wafer Chuck - WPWC 夹具 [P1001-032] WPWC100

Mechanical clamping for small size samples Ring with 4 clamps

Mechanical clamping ring for 100mm wafer

size: 100mm

For KOH or TMAH or HF etching

Wafer size: 100mm, primary + secondary flat

Wafer thickness: to be defined +/- 80um

Edge exclusion: 4 mm

Backside protected

Ventilation tube 150mm

Sealing rings KOH or TMAH or HF resistant

Idonus Sarl Wet Processing Wafer Chuck - WPWC 夹具 [P1001-032] WPWC100

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