丹麦 SENS4 A/S VPM-17 真空压力传感器,TriCAP™ ATM 传感器

TriCAP™ ATM 传感器

多传感器真空压力传感器，带大气开关、数字和模拟接口 VPM-17 真空压力传感器

测量范围 1×^10-6 至 1333 mbar（7.5×^10-7 至 1000 Torr）
不受气体影响的测量范围为 5×^10-3 至 1333 mbar
采用一流的 MEMS 皮拉尼传感器实现低压测量能力
大气切换功能和表压测量输出
数字 RS-232 或 RS-485 接口和可编程电压输出。
三个固态设定点，实现可靠的过程控制
用户可通过 RS-232、RS-485 或 S4-Connect™ 进行编程
坚固的不锈钢法兰和外壳设计
引脚和输出与其他供应商的仪表兼容

SENS4 VPM-17 TriCAP™ ATM 传感器为各种真空应用提供一体化测量解决方案，树立了新标准。它与任何其他真空计的不同之处在于，它提供从 5.0E-3 到 1333 mbar 的整体经济高效的气体独立测量，并结合低至 1E-6 mbar 的皮拉尼热损失测量。在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中，传统的气体依赖型皮拉尼真空计会导致测量结果与实际压力产生偏差。然而，TriCAP™ ATM 传感器采用精密电容隔膜计（CDG）传感器，即使在气体特性波动的情况下也能确保测量精度，因为它不依赖于气体成分。

集成的热损失 MEMS 皮拉尼传感器将测量范围扩展到 1E-6 mbar，并为电容压力计提供了一种新颖的自动零点调整功能，消除了传统电容隔膜表手动调零的常见需求。

重新思考真空测量

TriCAP™ ATM 是一款真正新颖的多传感器真空计，是传统皮拉尼真空计应用性能升级的选择，也是使用独立电容压力计和皮拉尼真空计的应用的成本优化的一体化解决方案。

可编程设置和参数

用户可以对传感器设置和参数进行编程，以控制真空系统和应用参数。数字串行接口支持诊断、预测性维护、维修、校准、设定值配置、模拟输出缩放和实时真空压力测量值的采集，以便在屏幕上显示。串行USB编程器与免费、直观的配置软件相结合，是用于传感器编程、实时测量和诊断的即插即用解决方案。

模拟电压输出

用户可以通过 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口将模拟输出配置为 0-10 VDC 范围内的任何任意缩放。模拟输出缩放功能可在有限的压力范围内放大信号。此外，还提供多种模拟输出缩放选项，以模拟其他供应商的真空计和传感器。可选的辅助模拟输出可对全范围真空压力和相对于大气压的压力信号进行外部监测。

用于压力指示的新型 RGB LED

SENS4 SmartPirani™ ATM引入了一种新方法，通过多色LED直观地确定测量的压力，该LED在整个压力范围内平滑地改变颜色。这种可选的视觉功能是集成显示器的低成本替代方案，可提供测量压力的粗略视觉指示。如果真空系统加压超过环境压力，它还会提供清晰的视觉警告。 Loadlock 真空加压循环和控制

SENS4 可靠而稳健的压力控制

为了优化负载锁定性能，需要准确可靠地控制多个压力参数。SmartPirani™ ATM传感器具有三个独立的固态开关继电器，可配置为控制排气、传输室闸阀和负载锁门。与传统的机电继电器相比，固态继电器具有卓越的可靠性和更快的开关时间，同时提供无电弧触点，并且在开关触点时不会产生EMI（电磁干扰）。SmartPirani™ ATM 控制继电器经久耐用，并通过了 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，在用于控制关键真空过程和高循环负载锁定应用时具有最大的信心。