Beam Imaging DCIS-100离子源总成、库仑热阴极放电型
| 模型 | DCIS-100, DCIS-101, DCIS-102, DCIS-103, DCIS-103-2 |
|---|---|
| Ion Source Flange | 2.75″ Conflat, Model DCIS-102, 5 Terminal with gas input(1/4″) |
| Power Supply Requirements | Anode: 250v, 0.5A, Filament: 16V, 20A |
| Oven Ion Sources (Temperatures up to 2000C) | Oven Power Supply Requirements: 6V, 12A |
BIS介绍了新的DCIS-100离子源总成。这种离子源属于库仑热阴极放电型,与G-1型和G-2型离子枪系统。这种离子源类似于Colutron氮化硼离子源(100型)的设计,但是由高耐久性的氧化铝陶瓷(Al2O3).与氮化硼源不同,由于氮化硼的吸湿性,DCIS-100的初始除气时间以分钟计,而不是以小时计。氧化铝也比它的氮化硼对应物更具机械耐久性。DCIS-100也比Colutron model 100-Q石英离子源更耐用,并且能够为更高电流的离子束提供更高的温度和阳极放电电流。一种能在放电室中产生轴向磁场的新型库仑型热沉现在已经问世。
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