美国Thermionics, e-Gun™,操作、运动和样品处理,样品处理辅料,XYZ 机械手,FM 系列
美国Thermionics, e-Gun™,操作、运动和样品处理,样品处理辅料,XYZ 机械手,FM 系列 FM 系列 XYZ 复合精密机械手使用两个波纹管 - 一个大内径短波纹管用于 XY 运动，一个较小内径波纹管用于 Z 轴行程 - 与单个大型内径波纹管系统相比，可节省大量成本。
FM 系列 XYZ 复合机械手
FM 系列 XYZ 复合精密机械手使用两个波纹管 - 一个大内径短波纹管用于 XY 运动，一个较小内径波纹管用于 Z 轴行程 - 与单个大型内径波纹管系统相比，可节省大量成本。 FM 系列将 FB 机械手系列的 XY 平台与 EMT 精密转换器的 Z 平台相结合。FM 系列提供水平安装套件，带有定制额定的平衡弹簧，以保持“仪器”定位。Z 载物台可以与 XY 载物台分离。
FM 系列复合精密机械手是使用两个波纹管的 XYZ 单元。XY 波纹管内径为 2.5 英寸、3 英寸和 4 英寸是标准配置，内径可达 6.3 英寸内径。这些装置可提供 ±0.5“ 或 ±1” 的 X 和 Y 行程。它们的 Z 行程可达 36 英寸或更大，Z 波纹管内径为 1.39 英寸和 1.87 英寸标准。
非旋转管状探头也可以在 Z 平台的底部配备一个稳定的线性轴承。这导致探针组件更稳定，有效“杠杆臂”更短。
此探头选件提供一根无心、研磨、空心、不锈钢管，该管穿过机械手波纹管的中心。该探头通过双面法兰安装在行走法兰上，可以很容易地拆卸以进行设备安装。该管由安装在 Z 行程系统底部的不锈钢直线轴承稳定。这种轴承极大地提高了探头的稳定性。
此外，这些机械手可以安装差动泵旋转密封件。它们为客户的设备提供了额外的旋转自由度。可以修改探头轴承以允许探头极轴旋转和极轴线性行程。该系统提供了一种出色的公用事业输送方法，无需在真空中移动公用事业线路。
规格
X & Y 轴
- ±0.5“ 或 ±1” X 和 Y 行程，圆形图案，标准
- 预紧千分尺-平台耦合 /
- 0.0001“ 千分度大鼓刻度盘千分尺（公制千分尺可选）
- 所有 XY 轴承均可调节
Z 轴
- 2“ 至 36” Z 行程
- 齿轮箱 Acme 驱动，0.100 英寸/圈（10 圈/英寸）
- 0.001“ 分度，预紧丝杠和蜗杆轴
- 位置锁定
- 加长背架
基座法兰
- 6“ 外径 UHV 底座法兰
移动法兰
- 2.75“ OD 移动法兰
特征
- 硬化不锈钢轴承和导杆贯穿始终
- 最高烘烤温度：200°C
精度
轴 |
千分尺 刻度 |
分辨率 |
重复性 |
反弹 |
调整 |
| Z | 0.0005″ | <0.0005 英寸 | 0.0005″ | 0.0007″ | 旋钮调整 |
| X-Y | 0.0001″ | <0.0001 英寸 | <0.00015 英寸 | <0.00015 英寸 | 大号千分尺 |
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