英国VacTechniche,真空镀膜系统,SEM 镀膜机,涡轮泵浦溅射镀膜机,DST1-300

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DST1-300 涡轮泵浦溅射镀膜机

台式溅射系统

Vac Techniche 真空镀膜系统

DST1-300 具有最小的台式占地面积之一，可为高分辨率 SEM 和 TEM 样品制备提供 DC 和 RF 溅射。 DST1-300 系列提供以下版本，以满足大多数实验室应用。

DST1-300 系列提供

台式溅射系统

以下版本可满足大多数实验室应用。

DST1-300 洁净真空 室

DST1-L 至 DST3：真空室为圆柱形耐热玻璃，外径为 300 mm，高度为 200 mm （DST1-4） / 外径为 170 mm x 高度为 140 mm （DST1-2）。配有一个内部安装的涡轮分子泵，由隔膜泵提供支持，该隔膜泵可引入清洁真空，而不会产生普通扩散泵通常存在的油污染。
  • 高真空涡轮分子泵。
  • 隔膜前级泵。
  • 全系列真空计。
  • 高精度石英晶体厚度监测器。
  • 直观的触摸屏，用于控制涂层过程和快速数据输入
  • 用户友好型软件，可通过网络进行更新。
  • 控制涂层速率以获得更精细的晶粒结构。
  • 手动定时和厚度溅射。
  • 能够记录和绘制涂层参数图表。
  • 自动或半自动控制。
  • 配备电子快门。
  • 易于更换的样品台（旋转台为标准）。
  • 两年保修。

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