kimball physics EFG-7/EGPS-2017电子枪

kimball physics EFG-7/EGPS-2017电子枪描述

聚焦或均匀广角低能电子束 50电子伏至5千电子伏 应用:

表面物理研究
真空物理实验
电荷中和
电子解吸
表面擦洗
磷光体测试
电离实验
半导体加工

特性/选项:

广泛可控的参数
泛光光束或窄角光束
静电聚焦
偏转、光栅、脉冲
可拆卸枪
电脑/遥控器

能量范围:50 eV至5k eV 电子束电流:1 nA至100 A 斑点尺寸:1毫米至100毫米 安装:2.75英寸(2英寸)CF，可拆卸选项 特性/选项:泛光束或窄角光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲金博尔物理EFG-7电子枪及其匹配的EGPS-2017电源，旨在用于各种超高真空(UHV)物理实验、表面物理实验和处理应用。它是一个完整的子系统，可以随时连接和启动。射束能量、射束电流和光斑尺寸可以在很宽的范围内独立调节。 EFG-7电子枪使用难熔金属阴极来产生均匀的泛光电子束。枪的设计允许产生低能量和非常低的电流的束。5千电子伏的EFG-7型产生1纳至100微安的束流和50千电子伏至5千电子伏的能量。居中偏转、光栅扫描和脉冲都可以作为选项。因为该设计已被优化为泛光枪，并使用圆柱形4极偏转器，所以当光束被聚焦到一个小点时，偏转偏差会很严重。 UHV技术贯穿始终。这种枪可以在真空中从10^-11高达10托^-5标准钽圆盘阴极的托。拆下电缆后，电子枪可烘烤至350°C。