电静力卡盘能够通过静电力将多个芯片以及晶圆的部分夹持到晶圆支架上。 这种设备对于研发机构非常有用，因为并非总是可以处理完整的晶圆。通过电静力夹持芯片，可以在HF蒸汽释放之前执行MEMS晶圆的严格切割工艺。通过修改传统的制造顺序，可以生产出具有极其柔软悬浮结构的MEMS器件。 电静力卡盘的使用非常简单。将芯片放置在晶圆支架上，并通过控制箱上的开关打开电力。电静力的大小可以进行调整。 静电卡盘既可以用于整个晶片的夹持，也可以用于单个芯片的静电夹持。