Idonus Sarl Spare Parts for VPE100 [P0401-02-SP-0102] VPE-SP-WH100-Echuck 刻蚀机配件

Electrostatic chuck assembly kit (with heater, alu plate, el. converter)
Note: this is a wear out part and requires periodic maintenance
Mechanical clamping ring 200mm waferHydrofluoric acid vapor phase etcher wafer size
200mm / 8''Hydrofluoric acid vapor phase etcher wafer size
200mm / 8''

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Idonus Sarl

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