Idonus Sarl Modular alignment system for shadow mask or other mask to substrate alignment [P1801-08] MAS200 掩膜对准

Mechanical clamping for small size samples Ring with 4 clamps
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
* size: up to 200mm
* standard model for alignment precision of typically 3 - 5
um (others on request)
* base unit with 3 linear axis and 1 rotation axis and 2 tilt
axis for tilt (wedge) error compensation

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Idonus Sarl

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