Idonus Sarl Electrostatic Chuck VPE-EC100 刻蚀机夹具

Electrostatic clamping mechanism for single chips and wafers
Note: this is a wear out part and requires periodic
maintenance

Mechanical clamping ring 200mm waferHydrofluoric acid vapor phase etcher wafer size

200mm / 8''Hydrofluoric acid vapor phase etcher wafer size

200mm / 8''

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Idonus Sarl

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