丹麦 SENS4 A/S iVacSens™真空传感器模块

丹麦 SENS4 A/S iVacSens™真空传感器模块

iVacSens™系列真空传感器模块是世界上最小的宽范围多功能组合真空计，设计用于集成在OEM设备中。iVacSens™基于破纪录且久经考验的SmartPirani™ MEMS热损失传感器，与传统的皮拉尼线、传统MEMS Pirani和对流计相比，该传感器具有一流的性能、更宽的测量范围和更高的精度。 超紧凑的设计和低功耗使其对便携式质谱仪或检漏仪等电池供电设备具有吸引力。

VPi-4 传感器模块

• 测量范围 1×^10-6 至 13.33 mbar（7.5×^10-7 至 10 Torr）
• 具有 1E-6 mbar 测量能力的一流 MEMS Pirani 传感器
• 模拟和数字输出

VPi-5 传感器模块

• 测量范围 1×^10-6 至 1,333 mbar（7.5×^10-7 至 1,000 Torr）
• 超宽范围和高性能一流的MEMS皮拉尼传感器
• 2 至 1,333 mbar 的精密气体独立膜片传感器。

VPi-7 传感器模块

• 测量范围 1×^10-6 至 1,333 mbar（7.5×^10-7 至 1,000 Torr）
• 超宽范围和高性能一流的MEMS皮拉尼传感器
• 2 至 1,333 mbar 的精密气体独立膜片传感器。
• 大气切换功能和表压测量输出

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