Idonus Sarl Wafer Chuck for Electrodeposition 夹具 [

Idonus Sarl Wafer Chuck for Electrodeposition 夹具 [P1001-052] WEDC50

Mechanical clamping for small size samples Ring with 4 clamps

Mechanical clamping ring for 100mm wafer

size: 100mm

Wafer size: diameter 50mm, primary flat

Wafer thickness: to be defined +/- 20um

Edge exclusion: 5 mm (open area diameter 30.0mm)

Contact position diameter: 47.0 mm

Backside protected

Electrode contacts on front-side

Idonus Sarl Wafer Chuck for Electrodeposition 夹具 [P1001-052] WEDC50

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