Mechano Transformer MTPA-2251SPA 压电辅助台Piezo Assist Stage

压电辅助台

压电辅助台是一个手动台，其精细定位分辨率为20纳米，而粗略定位范围可为几毫米至13毫米。压电辅助台主要用于定位工作台或夹具，或在纳米压痕等应用中控制非常精确和非常小的负载。压电辅助台体积小巧，用户友好。 压电辅助台工作原理： 在X轴和Y轴的每一个中，压电辅助台具有作为粗调机构的千分尺和作为微调机构的压电辅助机构。压电辅助舞台是一种精细调节机构设备，用于精确定位或精确力控制。通过压电致动器的伸长和收缩可以获得精确的定位和精确的力控制。在粗调机构中，可调线性运动范围为13mm，分辨率为10微米。在微调机构中，可调线性运动范围为35微米，分辨率为20纳米。需要纳米分辨率的精确定位是可能的。通过转动千分尺旋钮，可以实现粗调机构的精确定位。 Mechano Transformer压电辅助台主要型号：
型号 尺寸 粗动 微动 精细移动最小分辨率 千分尺操作位置
MTPA-2251SPA 25×25mm ±3mm 25µm & above Below20nm Side
MTPA-2251SRPA 25×25mm ±3mm 25µm & above Below20nm Side
MTPA-2251SRZPA 25×25mm ±3mm 25µm & above Below20nm Side
MTPA-2251SZPA 25×25mm ±3mm 25µm & above Below20nm Side
MTPA-2401SPA 40×40mm ±6.5mm 30µm  & above Below20nm Side
MTPA-2401SRPA 40×40mm ±6.5mm 30µm  & above Below20nm Side
MTPA-2401SRZPA 40×40mm ±6.5mm 30µm  & above Below20nm Side
MTPA-2401SZPA 40×40mm ±6.5mm 30µm  & above Below20nm Side
MTPA-2601SPA 60x60mm ±6.5mm 30µm  & above Below20nm Side
MTPA-2601SRPA 60x60mm ±6.5mm 30µm  & above Below20nm Side
MTPA-2601SRZPA 60x60mm ±6.5mm 30µm  & above Below20nm Side
MTPA-2601SZPA 60x60mm ±6.5mm 30µm  & above Below20nm Side

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