MASTERBOND,EP17HTDA-1,用于可穿戴设备的空气微流体颗粒物传感器

MASTERBOND,EP17HTDA-1,用于可穿戴设备的空气微流体颗粒物传感器应用暴露于空气中的颗粒物可能会导致许多不良健康影响，尤其是直径小于2.5微米的颗粒物更为危险。芝加哥伊利诺伊大学和加州大学伯克利分校的研究人员设计、制造并实验评估了一种颗粒物传感器，用于监测用户对环境颗粒物的暴露情况。1 关键参数和要求 Fahimi等人开发了直接读取的微机电系统（MEMS）传感器，采用了一种称为虚拟冲击的惯性颗粒分离技术。颗粒物被导入到空气微流体电路中，并沉积在质量传感共振器的表面，该共振器测量颗粒的质量浓度。1 质量选择是通过使用延迟深反应离子刻蚀工艺制造的垂直虚拟冲击器来完成的。这种垂直结构相比之前的可穿戴传感器原型实现了更高水平的微型化。此外，该传感器的设计显著减少了通常与颗粒物积累相关的内部污垢问题。设备中使用的互补金属氧化物半导体（CMOS）芯片和薄膜体声波谐振器（FBAR）分别通过Master Bond EP17HTDA-1粘合到硅基座和底板上。值得注意的是，CMOS的硅基座尺寸为1mm × 1mm × 0.5mm，FBAR的硅基座尺寸为1mm × 1mm × 1mm。结果 Master Bond EP17HTDA-1为研究人员提供了适合于晶片粘附的理想粘度流动特性，这对于非常小的粘接区域尤为重要。作为一种单组分热固化环氧树脂，它提供了方便的应用和处理，同时具备所需的电气绝缘性和热导率，并具有高晶片剪切强度，以确保传感器组装的可靠性。 参考文献 1 Fahimi, D., Mahdaviopour, O., 等. 垂直堆叠的MEMS PM2.5传感器用于可穿戴应用。 https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0924424719304030.

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