Piezodrive PDu150CL – 带应变片反馈的低噪声150V压电驱动器

Piezodrive PDu150CL – 集成应变调理的闭环压电驱动器

Piezodrive PDu150CL 将高压电源、精密应变调理电路、反馈控制器和超低噪声放大器(26 µV RMS)集成于一张信用卡大小的紧凑封装中。它为带或不带集成电阻式应变传感器的压电执行器,提供了高分辨率开环或闭环控制所需的所有功能。PDu150CL 可在高达 80 kHz 的频率下提供最高 300 mA 的输出电流,且噪声极低。适用于半导体制造设备、扫描探针显微镜、光学、振动控制及纳米定位等高要求应用。PDu150CL 可与 SCL 系列闭环叠堆执行器以校准配对形式购买。

Piezoelectric stack actuator with strain gauge

Piezodrive PDu150CL 具备短路保护、平均电流过载保护和过热保护。低功率应用时可选择被动冷却,功耗超过 5W 时可使用内置风扇散热。Piezodrive PDu150CL 可通过四个 M2.5 螺丝安装,或直接安装于主机主板(PDu150CL-PCB)。

规格参数

参数 规格
电源 +24 V(±10%)
输出电压 -30 V 至 +150 V
峰值电流 300 mA
RMS 电流 235 mA
功率带宽 80 kHz(150 Vp-p)
信号带宽 180 kHz
压摆率 38 V/µs
增益 20 V/V
输入阻抗(闭环模式) 10 kΩ
输入阻抗(开环模式) 3.05 kΩ
输入偏移 ±5 mV
负载 无限
输出噪声 26 µV RMS(1 µF 负载,0.03 Hz 至 1 MHz)
保护 短路保护、过流保护、过热保护
静态电流 100 mA(关断模式下为 10 mA)
连接器 螺丝端子(适用 AWG 20-30 线规)
尺寸 89 × 40 × 44 mm(长 × 宽 × 高)
工作环境 0°C 至 60°C(32°F 至 140°F)
重量 80 克

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Piezodrive PDu150CL – 带应变片反馈的低噪声150V压电驱动器

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