英国VacTechniche,真空镀膜系统,SEM 镀膜机,DTT-Turbo 三重热蒸发,DTT 蒸发涡轮
英国VacTechniche,真空镀膜系统,SEM 镀膜机,DTT-Turbo 三重热蒸发,DTT 蒸发涡轮
DTT-Turbo 三重热蒸发
SEM/TEM 镀膜系统
Vac Techniche 真空镀膜系统
Vac Techniche 三重热源桌面涂布机为各种形式的源材料（包括线、绳、颗粒和粉末）提供了一个非常通用的热蒸发系统，与船/篮和线圈源支架兼容。
DTT 蒸发涡轮 分子泵
90 L/s 涡轮分子泵直接安装在真空包络底板上，并由 6 m3/h 两级旋转泵提供支持，该泵可引入清洁真空，而不会像普通扩散泵那样受到油污染
热蒸发 舟/篮/盘管
台式热蒸发器可配备三个独立的热阻热蒸发源。蒸发源支架的良好设计不会造成源材料相互污染。源架的长度可在 5cm~9cm 范围内调整。
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多层热涂层
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大尺寸腔室
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高真空涡轮分子泵 300 l/s
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隔膜前级泵
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全系列真空计
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用于多层薄膜沉积的蒸发源（舟/篮/线圈）选择
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Co – 蒸发形成合金膜
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用于实时厚度测量的石英晶体监测系统（精度为 1 nm）
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手动模式、电源、时间控制
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自动定时和厚度沉积
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易于使用的触摸屏控制面板
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快速数据输入
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用户友好
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可通过网络更新的软件
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配备电子快门
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配备旋转样品架
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500 °C 辐照基板加热器
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两年保修
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