蒸发源 系列：HCL

全金属密封 e-Gun™。该源提供 3、4、5 plus 坩埚版本，允许对多达 5 plus 材料进行顺序沉积。标准安装在 12 英寸外径的 CF 法兰上，包括自动分度器以及所有机械和电气连接。安装在 10cc 及更小的 15 英寸 O.D CF 法兰上。

蒸发源 系列：HCL

高容量（HC 系列）线性多坩埚线性电子枪™

HCL 系列线性 e-Gun 是一款全金属密封 e-Gun™。该源提供 3、4、5 plus 坩埚版本，允许对多达 5 plus 材料进行顺序沉积。标准安装在 12 英寸外径的 CF 法兰上，包括自动分度器以及所有机械和电气连接。安装在 10cc 及更小的 15 英寸 O.D CF 法兰上。

兼容 UHV

• 金属密封，完全兼容 UHV，测量极限压力：2 x 10-11 Torr。
• 270° 光束偏转
• 灯丝完全隐藏，以确保最大限度地防止杂散颗粒引起的短路。
• 轻松更换灯丝
• 灯丝对准工具可在发射器组装过程中保持关键的灯丝公差，从而实现快速准确的灯丝更换。
• 永磁梁定位
• 主光束位置由永磁体控制;电磁铁仅用于精确定位和光束扫描。

规格

• 最大功率 15 kW
• 发射电压 -6 至 -15 kV
• 发射电流 0 至 1 A
• 灯丝 700 W
• 电子束偏转 270°
• 光束光斑尺寸 直径约为 .25“ 的紧密光束
• 蒸发速率 1 克/分钟 @ 10 kW，36,000 Å/分钟 铝 @ 10 英寸（250 毫米）源到基板的距离
• 水 3 加仑/分钟，25 psi 压差
• 坩埚材质 OFE 铜
• 烘烤温度 230°C

坩埚体积选项：

• 7cc、15cc、25cc、40cc 和 75cc。
• 可根据要求提供定制的 HCL 系列坩埚尺寸和配置。

示例模型如下：

零件编号	描述
HCL-1025-3/XXX	10kW HC 系列三 （3） 刀腔 e-Gun™ 25 cc 坩埚
HCL-1025-4/XXX	10 kW HC 系列四 （4） 刀位 e-Gun™ 25 cc 坩埚
HCL-1025-5/XXX	10kW HC 系列五 （5） 刀位 e-Gun™ 25 cc 坩埚
HCL-1040-3/XXX	10kW HC 系列三 （3） 刀头 e-Gun™ 40 cc 坩埚
HCL-1040-4/XXX	10kW HC 系列四 （4） 刀位 e-Gun™ 40 cc 坩埚
HCL-1040-5/XXX	10kW HC 系列五 （5） 个刀位 e-Gun™ 40 cc 坩埚
HCL-1575-3/XXX	15kW HC 系列三 （3） 刀位 e-Gun™ 75 cc 坩埚
HCL-1575-4/XXX	15kW HC 系列四 （4） 刀位 e-Gun™ 75 cc 坩埚
HCL-1575-5/XXX	15kW HC 系列五 （5） 刀位 e-Gun™ 75 cc 坩埚