美国DOVER MOTION纳米定位平台, Z轴平台, SmartStage Z-50, 50mm定位和聚焦

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SmartStage™ Z-50 纳米定位平台

纳米定位平台是一种高精度运动装置,专为需要极高定位精度的应用设计,通常可达到纳米级。SmartStage Z-50 纳米定位平台是一款行程为 50 mm 的直驱线性电机平台,在 Z 轴方向可实现 5 纳米分辨率。它非常适用于需要精确垂直运动的应用,例如光学显微、活细胞成像以及微流控等。主要优势包括:

DOVER MOTION纳米定位平台直驱线性电机平台SmartStage™ Z-50规格参数

行程 (mm) 50

位置反馈 – 编码器分辨率 (nm) *5 nm

负载质量 (g) *1  3800 *1

全行程精度 (2σ, μm) *2,3
<5

双向重复定位精度(全行程)(2σ, μm) *2,3
<0.8

回零重复性 (2σ, μm)
≤1

最小步进 (nm)
<100

运动及稳定时间(1 μm 步进,±50 nm,ms)*3
≤100

运动及稳定时间(1 mm 步进,±50 nm,ms)*3
≤250

最大速度 (mm/s) *4
300

最大加速度(无负载)(m/s²) *4
10

平面度与直线度 (μm TIR)
3

偏航、俯仰(典型值)(μrad)
<150

运动部件质量(不含物镜)(kg)
0.44

总质量 (kg)
0.86

SmartStage Z-50 纳米定位平台基于 SmartStage 直线系列成熟的紧凑架构开发,专为高性能显微及生命科学仪器提供高精度运动解决方案。

主要特点包括:

美国DOVER MOTION纳米定位平台, Z轴平台, SmartStage Z-50, 50mm定位和聚焦应用领域
纳米定位平台 SmartStage Z-50 是需要大行程对焦/Z 轴应用的理想选择,同时能够实现对大负载的快速且高精度定位,典型应用包括:

协同运动
用户自定义轨迹模式(UDP)支持通过辅助输入实现多平台协同运动。平台可由另一轴或外部信号驱动,根据输入信号按预设运动曲线运行。

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