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idonus,UV-EXP 150R, UV-EXP 150S, UV-EXP 200S,UV-LED曝光系统 UV-LED曝光系统(UV-EXP系列) idonus推出的UV-EXP系列是一种基于高功率LED和高品质均匀化光学系统的创新UV照明系统。该产品线适用于光刻胶曝光(UV-LED光刻和固化),适合用于MEMS、微流体、光子学、半导体和光伏应用中的多种基材和光刻胶。我们的标准UV照明产品系列满足最多300毫米(11.8英寸)宽的掩模和晶圆的光刻需求。 我们可以设计定制解决方案,以满足您的特定需求(例如,掩模对准器的改造,或您未来产品的OEM)。有关UV-LED改造和定制曝光系统的更多详细信息,请访问我们的解决方案 > 技术页面。

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