Plasma Process Group, Inc. 16 CM RF Ion Beam Source 16CM离子源 PRO33669

16 CM RF Ion Beam Source - 600mA Systems & Accessories. Including:

16CM grid assembly, 3 grid, moly, 25cm FP, divergent;

16CM Interface kit internal mount, 18 inch leads w/2.75 inch CF *3;

RFN Assembly;

RFN Flange with match network ITI style 4.5 inch CF;

IBEAM RFS/RFN 600 mA/1500V Beam Cable ket for IBEAM 703 includes 2 RF coaxial, IRFN 5 wire, and 1 source 4 wire,

18 foot cables, Includes 6 foot PTII controller cable; 

Match network and controller for 16cm RF ion source

离子源及配套电源,椭圆形栅网,长轴140mm,短轴70mm,保证长轴为水平方向。

离子源与射频源之间电缆长度为3.65米或7.3米(必须是12英尺的倍数);

离子源带一套栅网,和一套备用栅网;


Plasma Process Group, Inc. 16 CM RF Ion Beam Source 16CM离子源 PRO33669

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