美国Kimball Physics,电子枪系统,高能量（最大 100 keV）,EGH-8100/ EGPS-8100 [原 EGH-8101]

美国Kimball Physics,电子枪系统,高能量（最大 100 keV）,EGH-8100/ EGPS-8100 [原 EGH-8101] Kimball Physics 电子枪（束流）系统通常包括一个匹配的电源，以提供完整的子系统，该子系统可以连接到用户的真空硬件并打开。许多系统上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其宽范围内独立调节，并且可以使用可选的 Labview 进行控制^TM计算机接口。我们的大多数系统在真空条件下都兼容 UHV（超高真空），最高可达 10^-11托。根据系统的不同，可以使用各种阴极选项，包括：

1. 氧化钡盘（BaO，低光，低能量扩散，最小真空度 1×10^-7托尔）
2. 钇涂层铱片（Y₂O₃铱，坚固耐用，真空度高达 10^-4Torr，可能在短暂的真空损失中幸存下来）
3. 钽盘阴极
4. 单晶六硼化镧 （LaB₆，小光斑，高亮度，最小真空度 1×10^-7托尔）

Kimball Physics 的产品已经发展成为范围广泛的电子束系统，我们将其武断地描述为低能量（高达 5 keV）、中等能量（高达 30 keV）和高能量（高达 100 keV）系统。许多系统都是从定制项目中诞生的，这仍然是我们关注的很大一部分。 高能系统，能量范围为 1 keV 至 100 keV，电流范围为 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸范围为 50 微米至 500 mm。下表提供了电子枪系统规格以及每个高能电子枪系统的典型应用和功能的比较。 高能电子枪系统（< 100 keV）

型号 #： EGH-8100 EGPS-8100

描述

高能量、大电流、泛光电子束 1 keV 至 100 keV 应用：

一般真空研究
辐射研究
地表轰炸
半导体研究
生物标本照射
X 射线生成
血浆激发
荧光研究
表面物理研究

功能/选项：

光束电流高达 1 mA（20 mA 脉冲）
脉冲能力
大电流脉冲
运行期间的内部对准
用户可更换的点火装置
提供计算机控制
泛光光束

能量范围：1 keV 至 100 keV 束流：10 nA 至 1 mA（脉冲束高达 20 mA） 光斑尺寸：3 mm 至 100 mm 系统安装法兰：6CF 涡轮泵安装法兰：4.5 英寸（41/2） CF 规格安装法兰：（3） 2.75 英寸（23/4） CF Kimball Physics EGH-8100 电子枪及其匹配的 EGPS-8100 电源是一个完整的子系统，可连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常广泛的能量、电流和功率范围内传递电子。EGH-8100 可应用于空间材料测试、辐射研究、半导体研究、X 射线生成和等离子体激发。该枪使用难熔金属或六硼化镧（LaB₆）阴极产生高能量、大电流的电子束。束流能量和束流都可以在很宽的范围内独立调节;能量从 1 keV 到 100 keV，电流从 10 nA 到 1 mA（20 mA 脉冲）。电子束可以通过控制网格的输入信号进行脉冲传输。该喷枪具有可调节的阴极馈通组件，允许点火装置相对于阳极进行机械对准。这种对准可以在喷枪在光束打开的情况下运行时实时完成。