Plasma Process Group, Inc. 16RF08 16 cm RF Ion Beam Source - 600mA （栅网一备一用） PRO41910 16CM离子源

1. 16RF08 16 cm RF Ion Beam Source - 600mA

2. 507460A 16 cm grid assembly, 3 grid, Moly, 25cm FPConvergent, 140x70mm ellipse （两套栅网，一备一用）

3. 504902A 16 cm Interface kit, 16.5" CF flange extension mount.

4. 504424B RFN Assembly

5. 504891A RFN Flange with match network ITI style,4.5 inch, CF

6. 505752A Cable kit for IBEAM 703 includes 2 RF coaxial, 1 RFN 5 wire, and 1 source 4wire, 18 footcables. Includes 6 foot PTII controller cable.

7. 505914C2 Match network and controller for 16cm RF ion source EXTENSION MOUNT

8. IBEAM 703-1-0 I-BEAM RFS/RFN 600mA/1500V Beam

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Plasma Process Group, Inc.

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