电子源 ES 40C1 用于扫描应用 AES 成像 EELS 和电子脉冲或解吸实验（ESD）

具有小光斑轮廓的可扫描电子源。由于其Einzel透镜的高透射率，ES 40C在很宽的能量范围内提供高电子束电流。ES 40C1 专为在 AES、扫描应用、成像、EELS 和电子脉冲或解吸实验（ESD）等应用中稳定可靠地运行而设计。技术规格：

安装法兰	DN 40CF（可旋转）
能量范围	0 – 5 keV
采样电流	高达 100 μA
扫描区域	10 毫米 x 10 毫米
屏蔽	铜或μ金属
阴极类型	钍钨
插入长度	最小 155.7 毫米，（其他应要求提供）外径：33.5 毫米（μ金属），35 毫米（铜）
FWHM	取决于工作距离，最小 120 μm（距离 56 mm）
工作距离	23 毫米 – 150 毫米（典型值为 75 毫米）
烘烤温度	最高 250 °C
工作压力	< 5×10^-6毫巴

特征：

细聚焦微成型尖端阴极
具有小光斑轮廓的可扫描电子源
入射电子束角校正（由ES40-PS电源提供）
集成扫描和偏转单元

选项：

线性移位
定制插入长度
源屏蔽材料（μ金属或铜）

电子源电源 ES40-PS 允许微调电子束能量、密度、样品上的位置以及电子束轮廓。扫描功能允许独立控制扫描速度和范围。所有设置都可以手动调整，也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。ES40-PS可以作为全宽19“机架安装单元（3U高）或独立式提供。通过 USB 端口轻松更新固件。设备可通过RS232/485或以太网接口进行远程控制。自动保存功能，用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。

技术规格：

电源电压	100 – 120 伏交流电/200 – 240 伏交流电，50-60 赫兹（最大功耗 250 W）
光束能量	0 – 5000 eV，分辨率 0.1 eV，纹波 < 200 mV
发射电流	0.1 – 300 μA，分辨率 0.01 μA [ES 模式] 1 – 3000 nA，分辨率 1 nA [CMA 模式]
聚焦电压	60 – 100 % 与能量电压相关，分辨率 0.1 %
韦内尔特电压	0 – 150 V，分辨率 0.1 V [ES 模式] -12 – 12 V，分辨率 0.1 V [CMA 模式]
光束位置（像素，像素）	分辨率 0.01 毫米，中间位置 ±5 毫米
扫描区域（Δx、Δy）	10 毫米× 10 毫米，分辨率 0.01 毫米
扫描速度（时间/点）	20 μs – 30 ms
定时器	双模定时器 0s – 99h 59m
真空测量（可选）	CTR90， TTR91， TTR211， PTR225， PTR90， ITR90， ITR100， Baratron，模拟输入， MKS937A， PG105， MG13/14， PKR251/360/361， PCR280， ATMION
通信接口	RS232/485，以太网
通信协议	MODBUS-TCP
用户界面	7“ TFT 显示屏，带触摸屏，数字编码器
界面语言	英语，德语，波兰语
尺寸	483 x 133 x 435 mm（宽 x 高 x 深），19“ 机架安装式
重量（大约）	9.2 千克